四川醫用(yòng)手術室淨化設備溫度要(yào)怎麽控(kòng)製(zhì)
更新時間::2017-08-05 15:34:34
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層流手(shǒu)術室(shì)具體工藝對溫(wēn)度(dù)的要求以後還要列舉,但作為總的(de)原則看,由於加工精度(dù)越來越精細,所以對溫度波動範(fàn)圍的要(yào)求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光(guāng)工藝中,作為(wéi)掩(yǎn)膜(mó)板(bǎn)材料的玻璃與矽(guī)片的熱膨脹係數的(de)差(chà)要求(qiú)越來(lái)越小。直徑100 um的矽(guī)片,溫度上升1度,就引起(qǐ)了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕(shī)度值一般較低,因為人(rén)出汗以後,對產品將有汙染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜(yí)超過25度

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